Przegląd platformy aktywnej izolacji wibracyjnej
STACIS ® III jest elastycznym systemem aktywnej izolacji wibracyjnej. System platformy aktywnej izolacji wibracji STACIS wykorzystuje zaawansowane czujniki wibracji inercyjnych, zaawansowane algorytmy sterowania i aktywatory piezoelektryczne, które filtrują ruch ziemi poprzez ciągłe pomiary aktywności ziemi, a następnie rozszerzają i kurczą aktywatory piezoelektryczne, aby eliminować wibracje w czasie rzeczywistym.
STACIS** został pierwotnie zaprojektowany do izolacji precyzyjnych urządzeń do mikrografii, pomiaru i wykrywania w zaawansowanych fabrykach półprzewodników, a teraz jest standardowym rozwiązaniem branżowym dla wrażliwych urządzeń** w hałaśliwych środowiskach, w tym, ale nie ograniczając się do, fabryk półprzewodników, laboratoriów analizy awarii, badań nanotechnologicznych, zakładów nanoprodukcyjnych i centrów badawczych materiałów.
System platformy aktywnej izolacji wibracji STACIS III zawiera zupełnie nowy ulepszony cyfrowy kontroler DC-2020. Nowy system sterowania** posiada nowy procesor dwujądrowy, Ethernet i port seryjny USB na panelu przednim i tylnym, zapewniając użytkownikom nowoczesny i łatwy w użyciu interfejs graficzny użytkownika (GUI). Z setkami udanych instalacji na całym świecie, STACIS jest idealnym systemem izolacyjnym do urządzeń wrażliwych na wibracje**.

Zalety systemu aktywnej izolacji wibracyjnej STACIS III
STACIS jest setki razy twardszy niż izolator powietrzny i nie ma żadnych ograniczeń systemu izolacji powietrznej. Nie ma „miękkiego” zawieszenia, a w przeciwieństwie do systemu aktywnego powietrza, STACIS może być umieszczony pod narzędziem z wewnętrznym systemem aktywnej izolacji powietrznej, dzięki czemu oba systemy działają w stanie **.
Unikalna konstrukcja seryjna i patentowana technologia wysokiej mocy piezoelektrycznej umożliwiają szeroką przepustowość aktywną 0,6 Hz***150 Hz i aktywną izolację wibracji**90% od 2 Hz.
System aktywnej izolacji wibracyjnej STACIS III
▪ ** Nowy ulepszony cyfrowy kontroler DC-2020 zapewnia łatwy w użyciu graficzny interfejs użytkownika
▪ Izolacja zaczyna się od 0,6 Hz, osiąga 40% *** 70% w przypadku 1 Hz
▪ Częstotliwość 2 Hz i wyższa, izolacja pionowa i pozioma większa niż 90%
▪ Zmniejszenie wymagań infrastrukturalnych i kosztów budowy, dzięki czemu urządzenia wibracyjne mogą funkcjonować nawet w przypadku dużych urządzeń zewnętrznych
▪ Efektywny zakres izolacji od 0,6 Hz do 150 Hz
▪ Szerokie uznanie i potwierdzenie przez wielu użytkowników
▪ 6-kierunkowa konstrukcja z twardą konstrukcją, bez zawieszenia powietrznego
▪ Mocny system sterowania bez regularnej ponownej kalibracji
▪ Projektowanie w miejscu użycia, bezproblemowo kompatybilne z istniejącymi systemami izolacyjnymi
▪ W miarę zmian środowiska zewnętrznego system automatycznie dostosowuje się do różnych sytuacji wibracji zewnętrznych
▪ Stacys z TMC ® Technologia aktywnej amortyzacji przy użyciu napędu piezoelektrycznego
▪ Kontroler cyfrowy i graficzny interfejs użytkownika (GUI) oparty na komputerze
▪ Zwiększenie produkcji, jakości i stopy produkcji.
▪ Zgodność z normami RoHS
▪ ** Szeroka przepustowość aktywnej izolacji, ** efekt izolacji niskiej częstotliwości
▪ Aktywne wyeliminowanie wibracji przez Ahrze**, głównie w zakresie 0,6-6Hz
▪ Projektowanie stosowalne
▪ Aktywna konstrukcja montażowa twarda zamiast miękkiego zawieszenia, bez przesunięcia niskiej częstotliwości, elementy aktywne połączone ze sztywną sprężyną
▪ Pasywna sprężyna filtruje rezonans obciążenia z czujnika STACIS i wymaga bardzo niewielkiego dostosowania, nawet bez dostosowania
▪ Ze względu na niezgodność impedancji kompatybilny z wewnętrznym izolatorem instrumentu
▪ Obciążenie do 2000 kg
▪ Aktywne systemy izolacyjne na rynku**
Wydajność platformy aktywnej izolacji wibracyjnej

Testowanie obciążenia użytecznego 4500 funtów (2045 kg) za pomocą VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS)
Specyfikacja platformy aktywnej izolacji wibracyjnej
Specyfikacja wydajności
Wolność aktywna | 6 |
Aktywna przepustowość | 0.6 Hz - 150 Hz |
Pasywna częstotliwość | 18 Hz pionowe i poziome |
Skuteczna częstotliwość aktywnego rezonansu | 0.5 Hz |
Izolacja przy 1 Hz | 40% - 70% |
Izolacja przy ≥ 2 Hz | ≥90% |
10 funtów (4,5 kg) stabilny czas po wejściu krokowym (zmniejszenie 10:1) | 0,3 sekundy |
Hałas wewnętrzny | <0.1 nm RMSd> |
Zakres obciążeń roboczych dla każdego izolatora | Niska wydajność: 400 - 1100 funtów (181 - 499 kg) |
Średnia wydajność: 900 - 2100 funtów (408 - 953 kg) | |
Wysoka wydajność: 1900 - 4500 funtów (862 - 2041 kg) | |
Sztywność (1000 funtów / 454 kg masy, izolator średniej obciążalności) | 40 000 funtów/cal (73 x 105 NW/m) |
Pole magnetyczne emitowane z odległości izolatora ** 4 cali (102 mm) | <0.02 μG broadband RMSd> |
Wymagania dotyczące konstrukcji, rozmiarów, środowiska i użyteczności izolatora
Środowisko i bezpieczeństwo | Zgodność z normami CE i RoHS |
Aktywne elementy izolacyjne | ** Aktywator piezoelektryczny o niewielkiej obciążalności 3300 funtów (1500 kg) odbiera sygnał z wzmacniacza wysokiego napięcia o wyjściu do 800 VDC. Pionowy siłownik wspiera obciążenie izolujące wibracje |
Pasywne elementy izolacyjne | Pojedynczy twardy elastomer homogenny (bez źródła sprężonego powietrza) |
Czujniki wibracji | Czujnik bezczynności typu detektor seismiczny w dół do pomiaru wibracji ziemi pod izolatorem i zapewniania napięcia proporcjonalnego do prędkości ruchu wibracji |
Aktywne obwody kontroli zwrotnej | Pomiar, przetwarzanie i tłumienie wibracji ziemi pod sprężynami wspierającymi powierzchnię izolacyjną |
Wymiary izolatora (szerokość x głębokość x wysokość) | 11,75 x 12,5 x 10,8 cala 300 x 320 x 275 mm |
Waga izolatora | 75 funtów (34 kg) |
Temperatura robocza | 50° - 90°F 10° - 32°C |
Temperatura przechowywania | -40° - 130°F -40° - 55°C |
Wilgotność | 30 - 60% |
Wymagania zasilania systemu | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W Zgodność z normami CE |
Przeniesienie ziemi | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
Liczba izolatorów w każdym systemie | *** mniej 3 |
Dodatki opcjonalne | Laminowane platformy ze stali nierdzewnej, ramy, stojniki, urządzenia do wyrównywania, urządzenia odporne na trzęsienie, pokrywy podnoszące |
Specyfikacja kontrolera DC-2020
Wymiary (szerokość x głębokość x wysokość) | 19 x 8,5 x 1,75 cala 483 x 216 x 45 mm |
Waga | 6,3 funta (2,9 kg) |
Procesor | 150/75 MHz podwójne jądro |
Wskaźnik próbkowania | 10 kHz |
Wyjście analogowe | 16 kanałów |
Wejście analogowe | 16 kanałów |
Światło stanu | Pojedynczy LED |
Port panelu przedniego | 1 seryjny USB 2.0 1 seryjny mikro-USB 1 sieć Ethernet RJ-45 Dwa BNC |
Port tylnego panelu | 1 seryjny USB 2.0 1 sieć Ethernet RJ-45 1 RS-232 DB-9 tradycyjny seryjny do tradycyjnego izolatora STACIS 2100 |
Interfejs użytkownika | Przedni wyświetlacz LCD Menu znaków w Superterminalu Rozszerzony GUI dla systemu Microsoft Windows Wbudowany interfejs graficzny Ethernet |
Użytkownicy i zastosowania STACIS
1. mikroelektronika, półprzewodniki
▪ Wykrywanie układów
▪ Mikrografia
▪ Kalibracja maski
Badania naukowe, nanotechnologia
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. stacja laserowa
▪ Nauki o życiu, rozwój leków
4. zastosowania przemysłowe
▪ Obróbka precyzyjna
Dlaczego wybrać aktywny system izolacyjny?
▪ Silne eliminowanie wibracji ziemi od <1Hz, platforma pneumatyczna nie może odgrywać efektywnej izolacji wibracji na tej niskiej częstotliwości
▪ Poprawa jakości i produkcji
▪ Możliwość obrazowania mniejszych cech
▪ Najwyższe badania
▪ Bardziej stabilna niż platforma pneumatyczna
▪ Rozwiązanie** spełniające standardowe parametry instalacji w miejscu SEM
▪ Niższe koszty inżynierii nowych urządzeń laboratoryjnych i badawczych
Dlaczego aktywny system izolacyjny STACIS
▪ To w sercach naukowców, aby zapewnić możliwie najbardziej ** środowisko bez wstrząsów.
▪ Silny system izolacji niskich częstotliwości na rynku.
▪ Obecnie wszyscy producenci SEM opublikowali wymagania dotyczące parametrów instalacyjnych, których wymagane parametry wibracyjne wymagają aktywnego systemu izolacji wibracyjnej.
▪ STACIS** został wynaleziony w latach 90., a TMC rozwinęła, opracowała i zainstalowała tysiące aktywnych systemów izolacji wibracyjnych jako niezawodne rozwiązanie w dziedzinie aktywnej kontroli wibracyjnej.
STACIS jest setki razy sztywniejszy niż izolator pneumatyczny
Czas stabilności w odpowiedzi na zakłócenia jest znacznie skrócony dzięki wyjątkowej konstrukcji szeregowej, idealnie nadaje się do produkcji maszyn, obciążeń dynamicznych, laserów lub niezależnych sztywnych powierzchni, w których wymaga się montaż źródła światła.
Następujące zalety są w branży **
▪ Szerokość pasma aktywnej izolacji STACIS wynosi 0,6 Hz - 150 Hz
▪ 6 stopni wolności aktywnej eliminacji wibracji, 8-10dB w odstępie od 1Hz
▪ W przypadku 2-3Hz izolacja wibracji do 90% (20dB)
Profesjonalne badania środowiskowe
Badania środowiska przed i po instalacji, w tym wibracje, pola magnetyczne, fale dźwiękowe
Po instalacji można uzyskać certyfikat systemu środowiskowego
▪ Doskonałe usługi badań środowiskowych
▪ Profesjonalne raporty środowiskowe
▪ Wykrywanie drgania, pola magnetycznego, fal dźwiękowych i rozwiązania
▪ TMC poleca użytkownikom rozwiązania praktyczne na podstawie szerokiego doświadczenia
▪ Ponad 40 lat doświadczenia w branży **
Zastosuj zdjęcia





