Sterylizator nadtlenku wodoru parowego (VHP) jest technologią wykorzystującą zalety nadtlenku wodoru w stanie gazowym w normalnej temperaturze, który jest bardziej zdolny do zabójstwa sporów po wytworzeniu wolnego OH do atakowania składników komórek, w tym lipidów, białek i DNA, aby osiągnąć wymagania dotyczące całkowitej sterylizacji. Często stosowane do sterylizacji w zamkniętych przestrzeniach, takich jak komory izolacyjne i izolatory.

Parowana sterylizacja nadtlenku wodoru jest zaletą wykorzystania nadtlenku wodoru w stanie gazowym w normalnej temperaturze, który jest bardziej zdolny do zabójstwa sporów niż w stanie ciekłym, parzenia ciekłego H2O2 i szybkiej produkcji wolnego tlenu wodorowego (HO--), używanego do atakowania składników komórkowych, w tym lipidów, białek i tkanek DNA, niszczenia ich struktury i osiągnięcia wymagań całkowitej sterylizacji.
Sterylizator nadtlenku wodoru jest urządzeniem do parzenia roztworu H2O2 o stężeniu 35%, tj. wody dwutlenowej w parę nadtlenku wodoru przez parownik, a następnie przekształcenia cząstek w gaz HO- przez plazmę i przesyłania do przestrzeni w celu dezynfekcji przez rurociąg.

Proces biologicznego zanieczyszczenia w sterylizacji nadtlenku wodoru oparowanej plazmą można podzielić na cztery etapy:

1. faza odparowania: wprowadzanie roztworu nadtlenku wodoru do odparownika do pary nadtlenku wodoru i wprowadzanie go do komory mieszanej przez wentylator w oczekiwaniu na przetwarzanie;

2. faza powstawania plazmy: wprowadzenie nadtlenku wodoru w stanie pary do komory powstawania plazmy, przekształcenie nadtlenku wodoru pary w nadtlenek wodoru plazmy i wprowadzenie do komory sterylizacyjnej;

3. faza utrzymania zanieczyszczenia biologicznego: kontynuuj wprowadzanie plazmy nadtlenku wodoru do komory sterylizacyjnej, aż do osiągnięcia ustalonego stężenia (zazwyczaj w oparciu o wartość stężenia weryfikacji papieru biologicznego) rozpocznie się czasowanie, utrzymanie 30 ~ 35 minut powyżej ustalonego stężenia, zakończenie zanieczyszczenia biologicznego (sprawdzona efektywność sterylizacji 30 minut osiąga 6-log), zatrzymanie odparowania i plazmizacji nadtlenku wodoru;

4. faza pozostałości: układ dróg powietrznych przełącza urządzenia pozostałości wszędzie, nadtlenek wodoru w odparowanej plazmie przekształca się w wodę i tlen za pośrednictwem rozkładacza, ciągły cykl zmniejsza stężenie nadtlenku wodoru w powietrzu poniżej 1 ppm.

Operacja każdego etapu może być kontrolowana indywidualnie ręcznie lub automatycznie, zgodnie z kolejnością.