Katalizacja niskotemperaturowa - system oczyszczania azotu w wysokiej temperaturze

Ten system oczyszczania wykorzystuje domowy katalizator opatentowany, który ma długą żywotność, wysoką głębokość oczyszczania i silną zdolność do natychmiastowych wahań gazu antysurowca; Przy użyciu procesu adsorpcji fizycznej i reakcji chemicznej, najpierw w temperaturze pokojowej, aby usunąć dużą ilość zanieczyszczeń H2O, O2, CO, CO2 z gazu bezczynnego i wodoru (H2), a następnie przez wieżę aspiracyjną wysokiej temperatury, aby usunąć pozostałe zanieczyszczenia i N2, aby zanieczyszczenia gazu eksportowego były poniżej 1 ppb. Urządzenie to ma długą żywotność, łatwą obsługę i inne cechy.

Wydajność produktu

Nadaje się do stosowania z gazem surowym o czystości nie mniejszej niż 99,999%.

◎ Ten produkt jest konstrukcja podwójna, jeden zestaw pracy, drugi zestaw regeneracji zapasowej

Wysoka głębokość oczyszczania, eksport różnych zanieczyszczeń <1ppb

Polerowanie elektrochemiczne ze stali nierdzewnej 316 (L)

Wbudowany filtr o wydajności 0,003 mikrona

◎ Ten oczyszczacz jest wyposażony w wieżę wstępno oczyszczającą, aby usunąć dużą ilość zanieczyszczeń przed wieżą cennego adsorptora, dzięki czemu można przedłużyć żywotność cennego adsorptora

Zastosowanie produktu

◎ Oczyszczenie terminali gazu przemysłowego elektronicznego z wysokiej czystości krzemu jednokryształowego, rozszerzenia układów, masowych obwodów zintegrowanych, produkcji produktów optoelektrycznych

◎ Sprzęt do procesów półprzewodnikowych: CVD, MOCVD, HVPE, piec dyfuzyjny itp.

* Oczyszczenie gazu

Parametry systemu