Przegląd

Fabryki produkcyjne półprzewodników, centrum nanotechnologii, nanofabryki i inne precyzyjne centra produkcyjne i badawcze często łączą pomieszczenia czyste z aktywnymi systemami podziemnymi, aby spełnić złożone wymagania instalacyjne (rurociągi, kable, rurociągi gazowe itp.) i utrzymać rygorystyczne standardy czystości. Ta podłoga nie nadaje się do urządzeń produkcyjnych, badawczych i pomiarowych wrażliwych na wibracje. Ruchoma ziemia nie może zapewnić niezbędnego cichego środowiska wibracyjnego dla tych narzędzi. TMC Quiet Island zastąpiła część aktywnego obszaru ziemi „cichą wyspą” zamocowaną na dolnym podłożu, oferując innowacyjne rozwiązanie. Quiet Island składa się z góry platformy kompatybilnej z czystym pokojem oraz struktury wspierającej specyficznej dla aplikacji i miejsca.

Złabienie

Główne elementy wspierające Quiet Island** oraz podstawowa technologia są zintegrowane z systemem aktywnej amortyzacji STACIS III. Ten „sztywny” system wsparcia bezczynności jest idealny dla dowolnego instrumentu wrażliwego na wibracje, dzięki czemu takie narzędzia mogą pracować w hałaśliwych warunkach. STACIS III jest kompatybilny z automatycznymi narzędziami do obróbki płytek, narzędziami do wyświetlania promieni elektronicznych o wysokiej rozdzielczości, frezowaniami promieniowymi jonowymi oraz dowolnym narzędziem z pasywnym lub aktywnym układem izolacji wewnętrznej (zobacz naszą białą księgę dotyczącą stosowania aktywnych izolatorów na aktywnych izolatorach). Ponadto zapewnia również izolację wibracji w szerokim zakresie częstotliwości. A konstrukcja "twardego montażu" jest bardzo twarda, więc w przypadku wyższych, ciężkich narzędzi nie występują problemy z stabilnością.

Statywy i uchwyty

Bardzo wytrzymałe rury do wspierania izolatorów STACIS zostały zaprojektowane przez doświadczony zespół inżynierów TMC i wyprodukowane w naszej fabryce ISO 9001 zgodnie z wysokimi standardami i specyfikacjami certyfikowanymi do spawania. Każda Quiet Island została starannie zaprojektowana, aby odpowiadać różnym wysokościom podłogi, geometrii podłoża i rozmiarom narzędzi. Dzięki zainstalowaniu tysięcy urządzeń obsługujących ponad 200 różnych modeli instrumentów na całym świecie, TMC posiada bogatą wiedzę i doświadczenie w zakresie projektowania konstrukcji wspierających, które spełniają potrzeby STACIS i Twoich urządzeń.

Platforma sztywna

Platforma składa się z 4-calowej (100 mm) grubości płyty stalowej, zaprojektowanej i wyprodukowanej przez TMC, w której płyta stalowa jest zamknięta wokół lekkiego, niezciśniętego, amortyzowanego materiału rdzenia. Efekt warstwowania płyt ze stali sztywnej i rdzeni przylepionych żywicą epoksydową do płyty ze stali nierdzewnej zapewnia bardzo wysoką sztywność i tłumienie strukturalne. Duże przekroje poprzeczne i zawartość stali powodują bardzo wysoką ogólną sztywność. Góra i boczna część to ciągła obudowa ze stali nierdzewnej, która utrzymuje czystość, piękność i integralność. TMC może projektować i produkować platformy specyficzne dla danego zastosowania, w tym cięcia, kształty specjalne, otwory stałe i śruby pierścienne.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Zalety Quiet Island

Wykorzystuje technologię aktywnej redukcji wibracji piezoelektrycznej STACIS - TMC Industry**, konstrukcję „Hard Mount” i izolację wibracji od 0,6 Hz, kompatybilną z wbudowanymi izolatorami.

Elastyczność w zakresie modułowości, dostosowywania i przekształcania pozycji – każda platforma jest dostosowana do potrzeb klienta, ale w przeciwieństwie do betonowych, które mogą być łatwo przekonfigurowane w przypadku zmiany narzędzi lub właściwości ziemi.

Ekspertyza - TMC posiada bogate doświadczenie w współpracy z producentami półprzewodników, instytucjami badawczymi i producentami ultraprecyzyjnymi. Rozumiemy klientów i ich potrzeby. Sama projektujemy i produkujemy.

Wydajność

Na 24-calowym, 40-calowym x 60-calowym Quiet Island, 4-miejscowym uchwytem STACIS,
Pomiar przepustowości pod wejściem VC-C z ziemi

specyfikacja

Specyfikacja wydajności

Wymagania dotyczące konstrukcji, rozmiarów, środowiska i użyteczności izolatora

Specyfikacja kontrolera DC-2020

Inne parametry

InneUstawienie Quiet Island

Duże instrumenty, które nie mają specyfikacji wibracji środowiska, zazwyczaj wymagają sztywnego i stabilnego uchwytu oddzielonego od podłoża ruchomego. Cicha wyspa jest idealnym rozwiązaniem. Strong Quiet Island posiada tę samą wysokowydajną górną część platformy i może być zaprojektowany na zamówienie do aktywnych pomieszczeń czystych na dowolnej wysokości, dowolnej geometrii podłoża oraz różnych rozmiarów narzędzi. TMC oferuje szereg różnych rodzajów filarów, aby zaspokoić różne potrzeby, tworząc modułowe, elastyczne rozwiązania do przełożenia i modernizacji specyficzne dla urządzeń i zakładów.

Zastosuj zdjęcia

Dzięki instalacji w naszym Quiet Island ® Złożoność, wrażliwość i wartość urządzeń na platformie podziemnej, nie tworzymy standardowego katalogu do zamówieniaNie.

Uważamy, że każda platforma powinna być dostosowana do konkretnych zastosowań. Zalecane kroki zamówienia są następujące:

▪ Powiedz nam, jakie urządzenie lub urządzenie chcesz izolować. Ponieważ zainstalowaliśmy setki tysięcy urządzeń, możemy już zaprojektować platformę, która spełnia wymagania Twojej aplikacji. Ponadto utrzymujemy ścisłe kontakty z producentami kroków, wyrównowaczy, SEM i innych narzędzi, dzięki czemu jesteśmy świadomi** nowych wymiarów, kształtów, zmian masy i specyfikacji wibracji ziemi.

▪ Alternatywnie możesz chcieć platformę, która nadaje się do ruchomych systemów siatek naziemnych. Klienci zazwyczaj wybierają platformę o rozmiarach 47 x 47 cali (1190 x 1190 mm), aby zastąpić parną liczbę płytek podłogowych.

▪ Powiedz nam, że Twoja podłoga działa wyżej niż stałe podłoże.

▪ Proszę nam opisać lub przedstawić ilustrację dowolnego wzoru otworu w geometrii podłogi lub belki stalowej / siatki.

▪ Proszę podać nam dane wibracji ziemi lub omówić z nami, jak zaplanować pomiary tych danych.

▪ Rozważ wrażliwość na wibracje urządzenia. Nasz sztywny, nierezonancyjny projekt filarów zapewnia odpowiednie wsparcie dla wielu narzędzi. Bardziej wrażliwe zastosowania wymagają wsparcia powietrznego lub piezoelektrycznego