Szanghaj Huai Chromatography Analysis Technology Co., Ltd.
Home>Produkty>Chromatometr helijonowy do analizy tetrachlorosilanu
Chromatometr helijonowy do analizy tetrachlorosilanu
Urządzenie wyposażone jest w wysoko wrażliwy detektor jonizacji heliu, z zastosowaniem technologii cięcia centralnego firmy Huawei, zawory do próby są
Szczegóły produktu
  • Opis produktu

Analiza chromatografii jonowej helu z tetrachlorozylanemNadaje się do wykrywania śladowych zanieczyszczeń w gazach stosowanych w przemyśle elektronicznym, o niewielkim stężeniu detekcyjnym do 5ppb. Przyrząd jest wyposażony w wysoce czuły detektor jonizacji helu i przyjmuje centralną technologię cięcia firmy Huaai Company.Wszystkie zawory wtryskowe są wyposażone w ścieżki gazu ochronnego przed wydmuchaniem; Cała maszyna przyjmuje konstrukcję skrzynki wielokumnowej i jest wyposażona w automatyczny system kalibracji ciśnienia wtrysku, aby zapewnić objętość wtrysku próbek z różnymi gazami dolnymi. Produkt sukcesywnie wygrał projekt A-poziomu transformacji osiągnięć high-tech w Szanghaju.

Krzem (SiHCl)3Zawartość (frakcja objętościowa)/l0-6 400 25
Dichlorozylan (SiH)2Cl2Zawartość (frakcja objętościowa)/l0-6 400 25
Dichlorozylan metylu (SiCl)2CH4Zawartość (frakcja objętościowa)/l0-6 200 50
Zawartość elementów metalowych i innych elementów (bor+aluminium) (B+Al) zawartość/(µ g/kg) ≤ —— 0.1
Zawartość fosforu+arsenu (P+As)/(µ g/kg) ≤ —— 0.3
Zawartość galu (Ga)/(µ g/kg) ≤ —— 0.5
Zawartość antymonu (Sb)/(µ g/kg) ≤ —— 0.5
Zawartość indu/(µ g/kg) ≤ —— 0.5
Zawartość wapnia (Ca)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość chromu (Cr)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość żelaza (Fe)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość potasu (K)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość sodu (Na)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość niklu (Ni)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość molibdenu (Mo)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość manganu (Mn)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość miedzi (Cu)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość kadmu (Cd)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość kobaltu (Co)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość cynku (Zn)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5
Zawartość wanadu (V)/(µ g/kg) ≤ 1 0.5

Zapytanie online
  • Kontakty
  • Firma
  • Telefon
  • E-mail
  • WeChat
  • Kod weryfikacji
  • Zawartość wiadomości

Udana operacja!

Udana operacja!

Udana operacja!