Chromatometr helijonowy do analizy tetrachlorosilanu
Urządzenie wyposażone jest w wysoko wrażliwy detektor jonizacji heliu, z zastosowaniem technologii cięcia centralnego firmy Huawei, zawory do próby są
Szczegóły produktu
- Opis produktu
Analiza chromatografii jonowej helu z tetrachlorozylanemNadaje się do wykrywania śladowych zanieczyszczeń w gazach stosowanych w przemyśle elektronicznym, o niewielkim stężeniu detekcyjnym do 5ppb. Przyrząd jest wyposażony w wysoce czuły detektor jonizacji helu i przyjmuje centralną technologię cięcia firmy Huaai Company.Wszystkie zawory wtryskowe są wyposażone w ścieżki gazu ochronnego przed wydmuchaniem; Cała maszyna przyjmuje konstrukcję skrzynki wielokumnowej i jest wyposażona w automatyczny system kalibracji ciśnienia wtrysku, aby zapewnić objętość wtrysku próbek z różnymi gazami dolnymi. Produkt sukcesywnie wygrał projekt A-poziomu transformacji osiągnięć high-tech w Szanghaju.
Krzem (SiHCl)3Zawartość (frakcja objętościowa)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Dichlorozylan (SiH)2Cl2Zawartość (frakcja objętościowa)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Dichlorozylan metylu (SiCl)2CH4Zawartość (frakcja objętościowa)/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Zawartość elementów metalowych i innych elementów | (bor+aluminium) (B+Al) zawartość/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.1 |
Zawartość fosforu+arsenu (P+As)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.3 | |
Zawartość galu (Ga)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Zawartość antymonu (Sb)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Zawartość indu/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Zawartość wapnia (Ca)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość chromu (Cr)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość żelaza (Fe)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość potasu (K)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość sodu (Na)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość niklu (Ni)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość molibdenu (Mo)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość manganu (Mn)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość miedzi (Cu)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość kadmu (Cd)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość kobaltu (Co)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość cynku (Zn)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Zawartość wanadu (V)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 |
Zapytanie online