W wielu zastosowaniach ultraczystego gazu, takich jak przemysł półprzewodnikowy, pozostała wilgotność w gazie jest niezbędna do prawidłowego funkcjonowania procesu. Ciągłe śledzenie pomiaru wilgotności od zawsze było trudne i wymagało skomplikowanych analizatorów wilgotności lub kosztownych technik analitycznych. Jednak obecnie na rynku są wprowadzane proste, ekonomiczne i dość skuteczne rozwiązania do pomiaru punktu rosy online, z niskim granicznym poziomem do zaskakująco niskiego -120 ° C (mniej niż 1 ppb).w). Przedatniki Pura oparte są na wieloletnim doświadczeniu w produkcji i walidacji czujników impedancyjnych, łącząc standardowe przemysłowe materiały i procesy produkcyjne, aby stworzyć pierwsze niskocenowe nadajniki do zastosowań w przemyśle produkcyjnym półprzewodników i gazów ultraczystych. Wyświetl Dolny limit pomiaru -120°C Punkt rosy (1 ppb)w) Stabilność pomiaru, dobra powtarzalność Wysoko zintegrowane urządzenie do pobierania próbek Wyjście analogowe i cyfrowe Łatwa instalacja Interfejs procesowy VCR Kompaktowa konstrukcja Wyświetlacz/alarm opcjonalny
Wskaźniki techniczne
Czujniki Rodzaj czujnika Ceramiczne czujniki wilgotności Rozmiar -120 ~ -40 ° C Punkt rosy (sprawdzany do -100 ~ -40 ° C) Dokładność ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4 ° C -101 ~ -120 ° C (szacowane) Rozdzielczość 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Ciśnienie minimum 10-9 torr; Maksymalnie 24 MPa Przepływ gazu 1 ~ 5 Nl / min elektryczne Zasilanie Zwykle 24 V DC, minimum 10 V ~ maksymalnie 28 V, maksymalny prąd 25 mA Wyjście Wyjście 4-20 mA, zakres odpowiadający może być regulowany za pomocą specjalnego oprogramowania, zakres regulacji od 1 do 80 ° C (dostępny standardowo) Maksymalne obciążenie = 100 Ω + 50 Ω x (zasilanie V -8) Błąd wyjściowy Informacja o błędzie wyjścia standardowego jest następująca: 23 mA = awaria czujnika; 20 mA = przekroczenie górnego limitu; 4 mA = nadmiar dolny Właściwości mechaniczne Obudowa czujnika Stal nierdzewna, 0,1-0,2 Ra µm Port połączenia dróg powietrznych Premium lub OEM: 1⁄4 m interfejs VCR Typ czujnika Pura: 1⁄2 m VCR Konfiguracja instalacji Premium lub OEM: długość 120,00 mm, uszczelnienie końcowe portów dróg powietrznych. Nie ma potrzeby rezerwowania pustiny rurociągów Dwa otwory montażowe M4 x 0,7, głębokość 7 mm na podstawie z odstępami 20 x 20 mm Typ czujnika Pura: do użytku w dostarczonym przez użytkownika porcie ½' VCR Rozmiary Premium lub OEM: 120 x 35 x 150 mm Czujnik Pura 型: 132 x 35 mm Waga Premium lub OEM: 450 g Czujnik Pura 型: 180g Opakowanie Pura: Opakowanie dwuwarstwowe, uszczelnienie napełniające gaz bezczynny Pura OEM lub Pura Sensor: Opakowanie jednowarstwowe Wszystkie akcesoria opcjonalne: niezależne opakowanie Typ czujnika posiada własną osłonę ochronną na końcu chipu czujnika do transportu i obsługi