Silan jest ważnym nowym produktem materiałowym, szeroko stosowanym w wyświetlaczach LCD, półprzewodnikach, energii słonecznej i innych przemysłach, wraz z rozwojem chińskich półprzewodników i innych przemysłów, krajowe zapotrzebowanie na silikan rośnie, ale ponieważ krajowa technologia produkcji silikanu jest na początkowym etapie, jak analizować czystość silikanu jest tematem, przed którym muszą stawić czoła poszczególni producenci.
Jak dobrze wiadomo, analiza gazu o wysokiej czystości jest złożonym procesem i jednym z trudności analizy chromatografii; Silan ze względu na specyficzne właściwości fizyczne, jego trudność analizy może być trudniejsza, nie tylko wymaga wysokiej wrażliwości detektora, ale również rozwiązać problem spalania tlenu w silanie.GC-9560-HG Chromatometr gazowy do jonizacji heliuPo pokonaniu wielu trudności technicznych w procesie analizy silikanu, zastosowanie detektora jonizacji heliu o wysokiej wrażliwości, wyposażonego w dedykowany system próbkowania silikanu, dobrze zakończyło analizę zanieczyszczeń ppb w śladach silikanu.

Zastosowane kryteria:

• GB/T 15909-2009 - Gazy do przemysłu elektronicznego

GC-9560-HG Chromatometr gazowy do analizy heliuNadaje się do wykrywania śladowych zanieczyszczeń w gazach o wysokiej czystości i gazach przemysłowych elektronicznych, małe stężenie wykrywania zui może wynosić do 5 ppb. Urządzenie wyposażone jest w wysoko czuły detektor jonizacji heliu z zastosowaniem technologii cięcia centralnego firmy Huawei*. Zawory wprowadzające próbki są wyposażone w zawory wprowadzające z ścieżką powietrzną ochronną; Cała maszyna jest zaprojektowana z wielokołunkową konstrukcją, różne kolumny chromatograficzne mogą być oddzielnie kontrolowane, zui maksymalnie zoptymalizuje warunki separacji i ułatwia oddzielne starzenie się różnych kolumn chromatograficznych, ułatwia konserwację instrumentu; Urządzenie wyposażone jest w system automatycznej korekty ciśnienia w próbce, aby pokonać błędy analityczne spowodowane niewielką ilością próbek w różnych gazach podłogowych ze względu na różną masę cząsteczkową.

Jedna,GC-9560-HG Chromatometr gazowy do analizy heliuZalety wydajności:
Przemysł gazowy jest podstawowym sektorem gospodarki narodowej, jest "krwią" produkcji przemysłowej, a wraz z szybkim rozwojem gospodarki narodowej zapotrzebowanie na gaz o wysokiej czystości i gaz do przemysłu elektronicznego również szybko rośnie. Wykrywanie śladowych zanieczyszczeń jest kluczowym elementem produkcji gazu o wysokiej czystości i gazu do przemysłu elektronicznego, a analiza śladowych zanieczyszczeń zawsze była trudnością w analizie chromatograficznej, a tradycyjne detektory chromatograficzne, takie jak przewodnictwo cieplne, nie są w stanie wykwalifikować analizy gazu o wysokiej czystości.
Detektor jonizacji heliu z rozładowaniem pulsowym (PDHID) jest bardzo czułym detektorem uniwersalnym o wysokiej odpowiedzialności na niemal wszystkie związki nieorganiczne i organiczne, szczególnie nadającym się do analizy gazów o wysokiej czystości i detektorem zdolnym do wykrywania do poziomu ng / g (ppb). Nowo opracowany krajowy standard przewiduje, że detektor jonizacji heliu zastępuje pierwotne detektory, takie jak przewodnictwo cieplne, a krajowa norma "Analiza gazowa chromatografii gazowej jonizacji heliu", której głównym zadaniem jest opracowanie chromatografii Huaei, jest również opracowana i wkrótce zostanie oficjalnie ogłoszona.

PDHID ograniczenia wykrywania zanieczyszczeń gazowych w silanie (ppb)

2.GC-9560-HGKonfiguracja systemu:

(1) Chromatometr gazowy do jonizacji heliu GC-9560-HG (2) Detektor do jonizacji heliu (PDHID)

(3) Centralny system cięcia (4) Elektroniczny system próbkowania gazu

(5) Systemy adsorpcji i redukcji tlenu (6) Oczyszczacze heliu

(7) Zawór zmniejszający ciśnienie do przewozu gazu (8) Zawór do pobierania próbek bez martwej objętości
(9)Filtry gazowe (10)Filtry próbkowe

(11) Kolumny chromatograficzne (12) Gazy standardowe
(13) Hel o wysokiej czystości (czystość > 99,999%) (14) GC-9560V4.0

• Centralna technologia cięcia do pełnej analizy gazu:
  GC-9560-HG Heliojonyzowany chromatometr gazowy wykorzystuje wielokolomnową technologię centralnego cięcia i odwrotnego dmuchania, który składa się z wielu zaworów dziesięciokanałowych i chromatografii wielokorzennej, aby automatycznie kontrolować procesy podawania próbek, przełączania, cięcia i odwrotnego dmuchania za pomocą ustawionej przez stację roboczą procedury czasowej.

• Zawór dziesięciokanałowy
  GC-9560-HGWyposażone są w oryginalny import VICI z ochronną drogą powietrzną, zawory dziesięciokanałowe, płaszczyzna zaworu zawsze jest w atmosferze przewozu gazu, aby uniknąć przenikania powietrza do próbki podczas wejścia i przełączania, znacznie poprawiając wrażliwość i dokładność wykrywania.
• Specjalnie przetworzona technologia kolumn chromatograficznych
  (1) rury kolumny chromatograficznej z materiału ze stali nierdzewnej 316L, a wewnętrzne ściany rury są przetwarzane pasywnie, aby zapobiec problemom z adsorpcją i opóźnieniem tlenku węgla
  (2) Nosiciele kolumn chromatograficznych są specjalnie przetwarzane, aby uniknąć problemów takich jak adsorpcja tlenu
  (3) Kolumna wstępna wykorzystuje chromatografię Huai, aby uzyskać krajową technologię mikrokolumn wypełniających, aby całkowicie poprawić separację próbek, uwzględniając separację, stabilność i szybkość

• System oddzielania wielokołonowych skrzynek
  Próbki gazu mają różnorodne formy, a różnorodne zanieczyszczenia wymagają połączenia wielu różnych kolumn chromatograficznych, aby ukończyć separację wszystkich zanieczyszczeń w próbce gazu. Ponieważ różne kolumny chromatograficzne mają różne temperatury pracy, trudno jest znaleźć odpowiednią temperaturę pracy dla różnych kolumn chromatograficznych w tym samym skrzyniu kolumnowym. GC-9560-HG jest zaprojektowany z wielokołunkową konstrukcją, która skutecznie rozwiązuje trudności związane z różnymi kolumnami chromatograficznymi wymagającymi różnych temperatur roboczych.
  Podczas codziennej konserwacji instrumentu, ponieważ różne temperatury aktywacji kolumn chromatograficznych różnych nośników, takich jak sito cząsteczkowe 5A, jeśli starzenie się w tej samej kolumnie wymaga usunięcia kolumny chromatograficznej, która nie toleruje wysokiej temperatury, a następnie aktywacji oddzielnie. Konstrukcja wielokołunkowa GC-9560-HG może skutecznie rozwiązać powyższy problem, a różne kolumny chromatograficzne mogą być aktywowane oddzielnie w różnych kolumnach, unikając problemu z demontażem kolumn chromatograficznych podczas codziennej konserwacji instrumentów.
• Oczyszczacz heliu HP-2:
  GC-9560-HGPrzy użyciu wysokiej czystości heliu jako gazu nośnego, czystość heliu bezpośrednio wpływa na wrażliwość wykrywania zanieczyszczeń całego urządzenia. Badania wykazały, że czystość gazu przenośnego stosowanego do analizy wysokiej czystości jest co najmniej o jeden poziom wielkości wyższa niż czystość podstawowa próbki gazu.
  Oczyszczacz heliu typu HP-2 jest specjalnym oczyszczaczem gazu produkowanym przez firmę VICI, którego oczyszczająca substancja jest nielotnym stopem adsorpcyjnym. Powierzchnia cząstek adsorpcyjnych ma warstwę tlenkową, która musi być aktywowana przez ogrzewanie, proces aktywacji musi być zakończony w próżni lub środowisku gazu bezczynnego, co pozwala na swobodne rozprzestrzenianie heliu między nimi, zapobiegając tworzeniu się warstwy oczyszczającej tlen, a także adsorpcji gazów zanieczyszczeń. Materiały adsorbenty HP mają dobrą stabilność cieplną, obejmującą dwa zakresy kontroli temperatury.
  Gazy oczyszczalne: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Ciśnienie robocze: 1000psi
  Usuwanie gazu: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Czekaj.
  Stężenie pozostałości: ≤10ppb
• System korekcji ciśnienia
  Tradycyjny chromatometr używa metody kontroli przepływu na wyjściu zaworu próbkowego do kontroli objętości próbki w rurce ilościowej, badania wykazały, że metoda ta ma duży błąd analityczny.
  Na przykład analiza wodoru o wysokiej czystości: gaz standardowy to sześć zanieczyszczeń w heliu, podczas gdy gaz próbkowy to sześć zanieczyszczeń w wodorze; Ze względu na różne masy cząsteczkowe helu i wodoru, ilość próbki w tym samym przepływie nie jest *
  GC-9560-HGWyposażony w system korekty ciśnienia, aby przezwyciężyć problemy z ilością próbek spowodowane różnicą w gazie podłogowym, aby zapewnić dokładność danych.
• Zawór próbkowania bez martwej objętości
  GC-9560-HG jest wyposażony w specjalny zawór próbkowania bez objętości martwej, przy użyciu metody próbkowania z ochroną przed dmuchaniem, aby skutecznie uniknąć problemu pozostałości powietrza i zmniejszyć wpływ procesu próbkowania na analizę do niskiego poziomu zui.
• Zawór zmniejszający ciśnienie do przewozu gazu
  Zwykle zawór zmniejszający ciśnienie ze względu na istnienie dużej ilości martwych objętości, bezpośrednio wpływa na czystość gazu nośnego po wyjściu zaworu zmniejszającego ciśnienie, powodując wysokie stężenie zanieczyszczeń w gazie nośnym, co wpływa na granice wykrywania całego systemu.
  GC-9560-HG Heliojonyzowany chromatometr gazowy wyposażony jest w zawór zmniejszający ciśnienie ze stali nierdzewnej z dwustopniową funkcją regulacji ciśnienia, co znacznie poprawia stabilność ciśnienia, zapewnia stabilność linii podstawowej, a jednocześnie zmniejsza martwą objętość zaworu i dalszą poprawę wrażliwości na wykrywanie.

GC-9560-HGWykres efektów analizy: